采用变螺距设计，功耗更低；电机泵体同轴设计高效可靠
密封灌胶电机水冷设计，密封、绝缘、减震，更稳定耐用
精巧矢量控制系统，内置 STO/VPC 瞬时断电自动启动
精确泵温控制，动态氮气监控水流量；抽气腔原件无摩擦，免维修
无油腔体，更清洁；多路吹扫，减少腐蚀气体对腔体损害
| 型号 | VSP80 | VSP100 | VSP200 | VSP300 | ||
| 抽气速率 | m²h | 80 | 100 | 200 | 300 | |
| L/min | 1330 | 1667 | 3333 | 5000 | ||
| CFM | 47 | 59 | 118 | 176.7 | ||
| 极限压力 | Pa | 3 | 3 | 1 | 1 | |
| Torr | 2.3×10⁻² | 2.3×10⁻² | 7.5×10⁻² | 7.5×10⁻² | ||
| mbar | 3x10⁻² | 3×10⁻² | 1×10⁻² | 1×10⁻² | ||
| 电机与电气 | 输入电源 | 380V~50/60Hz | 380V~50/60Hz | 380V~50Hz | 380V-50Hz | |
| 额定功率 | kW | 3 | 3 | 5.5 | 7.5 | |
| 极限真空/峰值电流 | A | 2.8/4 | 3.5/5 | 6.2/11 | 8.3/15 | |
| 控制与通信功能 | PID功能/MODBUS-RTU | PID功能/MODBUS-RTU | 直连 | 直连 | ||
| 连接 | 进气口 | KF40 | KF40 | ISO63 | IS0100 | |
| 排气口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水 | 冷却水流量 | L/min | 3~7 | 3~7 | 3~7 | 3~7 |
| 进水温度 | ℃ | 15~30 | 15~30 | 15~30 | 15-30 | |
| 供水压力 | Mpa | 0.2-0.4 | 0.2-0.4 | 0.2-0.4 | 0.2-0.4 | |
| 供水接口 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | ||
| 回水接口 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | ||
| 氮气吹扫 | 气源流量 | SLM | 0~190 | 0~190 | 0-165 | 0-165 |
| 气源压力 | Mpa | 0.05-02 | 0.05-0.2 | 0.015-0.02 | 0.015-0.02 | |
| 接口 | 气管快速接头Φ6mm | 气管快速接头Φ6mm | 气管快速接头Φ6mm | 气管快速接头Φ6mm | ||
| 气体质量等级 | ISO8573 CLASS2 | ISO8573 CLASS2 | ISO8573 CLASS2 | ISO8573 CLASS2 | ||
| 水蒸气处理能力 | g/h | 700 | 700 | 1500 | 2200 | |
| 齿轮箱油品及油量 | L | 0.88(氟油) | 0.88（氟油) | 1.7(合成油) | 1.7(合成油) | |
| 整机与使用环境 | 噪声 | dB | ≤65 | ≤65 | ≤68 | ≤68 |
| 重量 | kg | 205 | 205 | 395 | 435 | |
| 外形尺寸 | mm | 989x468x551 | 989x468x551 | 1175x450x525 | 1282x450x525 | |
| 防护等级 | IP | IP20 | IP20 | IP20 | IP20 | |
| 运行环境 | ℃ | 5~50 | 5~50 | 5~50 | 5~50 | |
| 储存温度 | ℃ | -5~50 | -5~50 | -5~50 | -5~50 | |
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