采用变螺距设计，功耗更低；电机泵体同轴设计高效可靠
密封灌胶电机水冷设计，密封、绝缘、减震，更稳定耐用
精巧矢量控制系统，内置 STO/VPC 瞬时断电自动启动
精确泵温控制，动态氮气监控水流量；抽气腔原件无摩擦，免维修
无油腔体，更清洁；多路吹扫，减少腐蚀气体对腔体损害
| 型号 | VSP80 | VSP100 | VSP200 | VSP300 |
| 抽气速率(m3/h) | 80 | 100 | 210 | 300 |
| 极限真空度(Pa) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 输入电源 | 220V/380V | 220V/380V | 380V | 380V |
| 输入频率 | 50HZ | 50HZ | 50HZ | 50HZ |
| 额定功率(kW) | 3 | 3 | 5.5 | 7.5 |
| 极限真空电流(A) | 2.8 | 3.5 | 6.7 | 8.3 |
| 峰值电流(A) | 4 | 5 | 11 | 15 |
| 转速(rpm) | 3300 | 4200 | 3000 | 3000 |
| 环境温度(℃) | 5-40 | 5-40 | 5-40 | 5-40 |
| 噪音(dB) | ≤65 | ≤65 | ≤68 | ≤68 |
| 尺寸L*W*H(mm) | 989*468*551 | 989*468*551 | 1175*450*525 | 1309*450*528 |
| 重量(kg) | 209 | 209 | 400 | 450 |
| 油品 | 合成油/氟油 | 合成油/氟油 | 合成油 | 合成油 |
| 油量-齿轮箱(L) | 0.65 | 0.65 | 1.25 | 1.25 |
| 油量-泵头(L) | 0.23 | 0.23 | 0.42 | 0.42 |
| 进气/排气接口 | KF40 | KF40 | ISO63/NW40 | ISO100/NW50 |
| 方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 流量(L/h) | 180(15℃)-420(30℃) | 180(15℃)-420(30℃) | 180(15℃)-420(30℃) | 180(15℃)-420(30℃) |
| 供给压力(mbar) | 2000-4000 | 2000-4000 | 2000-4000 | 2000-4000 |
| PID功能 | 有 | 有 | / | / |
| 模拟量输入 | 有 | 有 | / | / |
| 启动方式 | 端子启动、通讯启动 | 端子启动、通讯启动 | / | / |
| 通讯功能 | MODBUS-RTU | MODBUS-RTU | / | / |
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