清洁无油
罗茨真空泵属于干式无油真空泵，这种设计消除了被油或其他润滑剂污染的风险，使干式泵非常适用于需要高纯度和清洁度的应用，同时也避免油乳化发生卡机损害。此外，干式泵通常不需要油品消耗，仅需较少的维护，而且因消除漏油的风险，也不涉及处理受污染的液体，所以更环保。
增大抽速
非接触式抽气腔，高速运行，同样抽速更加节能；与前级组合，对比相同抽速的单一前级，抽速增大，能耗降低。
提高极限
增配罗茨真空泵后系统极限压强降低一个数量级，给真空系统提高10倍以上真空度，即降低一个数量级的气体压力，为系统提供更加稳定的真空度，前级泵真空度有所下降时，也能稳住真空度。
